반도체 장비 글로벌 기업들의 국내 R＆D 투자 확대 ASML社 경기도 화성에 再제조·트레이닝 센터 착공 2022-11-15 조수미 기자 로그인 또는 회원가입을 해주세요. (유료회원만 열람가능) 로그인 회원가입